Die Carl Zeiss SMT GmbH bildet den Unternehmensbereich Halbleitertechnik der Carl Zeiss AG und entwickelt und produziert Ausrüstungen für die Fertigung von Mikrochips. Das Unternehmen befand sich bis 2016 zu 100 Prozent im Besitz der Carl Zeiss AG. Im November 2016 erwarb das niederländische Unternehmen ASML für rund eine Milliarde Euro 24,9 Prozent der Carl Zeiss SMT GmbH.